Comment Cleanroom réalise-t-il la propreté?

En raison de la complexité de l'environnement externe, il n'est pas facile de réaliser la propreté réelle de Fab. Les principales sources de contamination sont les particules, les éléments métalliques et la matière organique des activités du personnel. Particules et éléments métalliques de l'équipement. Particules, éléments métalliques et matière organique à partir de matériaux bruts et auxiliaires. Particules de matière organique oxydée à partir des méthodes de fonctionnement. Et les particules de l'environnement de l'atelier. Parmi ceux-ci, les particules représentent environ 37 à 70%, les particules liquides pour environ 10 à 30% et les micro-organismes pour environ 5 à 20%.

Pour atteindre différents niveaux de propreté, Fab nécessite généralement la préparation d'un système complexe, quelque peu similaire aux systèmes d'air frais actuellement utilisés dans les maisons, par l'ajout de filtres de différentes tailles de tailles de pores différentes entre l'admission et l'échappement. Habituellement, la pression de l'air dans le Fab est plus élevée que la pression atmosphérique extérieure pour éviter les afflux spontanés de polluants à contaminer.

En plus de la filtration à volume élevé des contaminants extérieurs, des systèmes complexes sont nécessaires à l'intérieur de la salle blanche pour améliorer encore la propreté de la salle blanche. En règle générale, un grand nombre de systèmes de climatisation sont nécessaires pour filtrer l'air à travers des filtres à air particulaire à haute efficacité (HEPA) et pour contrôler la température et l'humidité en conséquence (la température de la salle blanche est de 20 à 26 ℃ et l'humidité est inférieure à 70%). Les exigences de propreté de différentes usines de processus sont réalisées par différents systèmes.

Pour les zones avec des exigences de propreté élevée, les systèmes ULPA (ultra faible perméabilité d'air) sont souvent utilisés, c'est-à-dire un flux laminaire unidirectionnel horizontal ou vertical ainsi que le contrôle du nombre de personnel, une forme de débit d'air qui aide à maintenir une distribution uniforme des particules aériennes et à minimiser la propagation des particules dans l'espace. En contrôlant la direction et la vitesse du flux d'air, un flux d'air laminaire plus stable et uniforme peut être réalisé. Pour les autres exigences de l'atelier, les filtres HEPA (Air à particules à haute efficacité) sont souvent utilisés pour y parvenir, c'est-à-dire par une simple turbulence.

Afin d'empêcher la contamination extérieure d'invaser la salle blanche, doit s'assurer que la pression statique intérieure est supérieure à la pression statique du monde extérieur, la différence de pression doit être maintenue en ligne avec les principes suivants:

1. La salle blanche est plus élevée que la zone non nettoyée.

2. La propreté élevée de la pression statique de la pièce est plus élevée que la propreté adjacente de la pièce.

3. La porte de la salle blanche de la salle blanche doit être ouverte au niveau de propreté élevé de la région.